Розробка надточних верстатів є важливою передумовою для розвитку надточного обробки. В останні роки розвинені країни успішно розробили різноманітні передові надточні верстати для обробки. Напрямом розвитку надточних верстатів є подальше підвищення точності надточних верстатів, розробка великомасштабних надточних верстатів, розробка багатофункціональних і високоефективних надточних верстатів спеціального призначення.
США, Великобританія, Німеччина та інші країни почали випускати надточні верстати в 1970-х роках (Японія в 1980-х роках), і можуть постачати їх партіями. Що стосується великомасштабних надточних верстатів, Національна лабораторія LLL у Сполучених Штатах у 1986 році успішно розробила два великомасштабні надточні алмазні токарні верстати: один — горизонтальний алмазний токарний верстат DTM-3 з діаметром обробки 2,1 м, а інший має діаметр обробки 1,65 м. Вертикальний великий оптичний алмазний верстат LODTM. Серед них вертикальний великий оптичний алмазний токарний верстат LODTM визнаний надточним верстатом із найвищою точністю у світі. Пізніше Сполучені Штати розробили великомасштабну 6-осьову точну шліфувальну машину з ЧПК для точного шліфування великих оптичних дзеркал.
Британський Cranfield Precision Machining Center у 1991 році успішно розробив багатофункціональний трикоординатний шліфувальний верстат з ЧПК OAGM-2500 (площа столу 2500 мм × 2500 мм), який може обробляти (шліфувати, точити) і вимірювати точні поверхні довільної форми. Верстат використовує метод зрощування заготовок, а також може обробляти великі дзеркала діаметром 7,5 м в астрономічних телескопах.
Японські багатофункціональні та високоефективні надточні верстати спеціального призначення швидко розвивалися, що відіграло добру роль у сприянні розвитку японської мікроелектроніки та промисловості побутової техніки.